高温无氧烘箱

设备简介
高温无氧烘箱能够在氧气浓度低至500ppm的气氛中在高达500℃的温度下进行热处理。这使得该系列非常适合MLCC和LTCC脱脂，以及各类抗氧化热处理。高温无氧烘箱采用专有的腔室结构和密封技术，具有出色的气密性和温度均匀性，还确保了更高的稳定性和重现性。还采用由冷却水循环的外部冷却机构，可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，从而缩短处理时间。

设备特点
● 内胆采用满焊处理，管路采用无缝不锈钢管件焊接处理，氧浓度低至500PPM；
● 耐高温风机和合理风道构成热风循环系统，保证室内温度均匀性，温度均匀度1.5℃%，物料干燥均匀；
● 采用进口温控系统，PID自动演算，控温精度土0.5℃；
● 1.5厚度SUS304#不锈钢内胆,优质钢板外体涂装烤漆,可防止微尘，造型新颖大方；
● 全周密焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304#不锈钢洁净电热产生器防机台本身产生微尘；
● 采用自动氮气程序化控制，配合高效水冷系统降温功能，完成高效生产作业。

适用范围
适用于固化半导体晶圆（光刻胶P1,PBO固化），IC封装（铜基板，银胶，硅胶，环树脂），玻璃基板烘烤高精度退火处理等。

设备参数