![四门四控晶圆真空烘箱 四门四控晶圆真空烘箱](/Content/File_Img/S_Product/2024-07-20/202407201125256830.jpg)
四门四控晶圆真空烘箱
四门四控晶圆级自动化真空烘箱,最高温度300℃,采用真空与充氮功能相结合,营造无氧无尘烘烤。单腔体单次可烘烤一片玻璃基板或者晶圆等材料,适用于小批量自动化连续生产应用。烘箱具备自动翻盖门,可以配合晶圆机械手进行配合工作,实现自动化上下料动作。
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产品详情
设备简介
四门四控晶圆级真空烘箱,最高温度300℃,采用真空与充氮功能相结合,营造无氧无尘烘烤。单腔体单次可烘烤一片玻璃基板或者晶圆等材料,适用于小批量自动化连续生产应用。烘箱具备自动翻盖门,可以配合晶圆机械手进行配合工作,实现自动化上下料动作。
设备特点
● 兼容真空和环境控制,达到无氧无尘的烘烤目的。
● 工作真空范围 101kPa-10-5Pa。
● 低残留 O2(<20ppm)。
● 工作温度范围 80-300℃。
● 烘箱采用自动门,可以与晶圆机械人进行互动,实现自动上下料功能。
● 根据技术要求,可运行复杂程序。
● 具有自诊断电路(温度传感异常、加热器断路、自动防止过升、SSR 短路)、过升防止器、漏电保护开关防止过流、钥匙锁定等安全功能。
● 可选择水冷/气冷降温等方式。
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