四门四控晶圆真空烘箱

设备简介
四门四控晶圆级真空烘箱，最高温度300℃，采用真空与充氮功能相结合，营造无氧无尘烘烤。单腔体单次可烘烤一片玻璃基板或者晶圆等材料，适用于小批量自动化连续生产应用。烘箱具备自动翻盖门，可以配合晶圆机械手进行配合工作，实现自动化上下料动作。

设备特点
● 兼容真空和环境控制，达到无氧无尘的烘烤目的。
● 工作真空范围 101kPa-10-5Pa。
● 低残留 O2（<20ppm）。
● 工作温度范围 80-300℃。
● 烘箱采用自动门，可以与晶圆机械人进行互动，实现自动上下料功能。
● 根据技术要求，可运行复杂程序。
● 具有自诊断电路（温度传感异常、加热器断路、自动防止过升、SSR 短路）、过升防止器、漏电保护开关防止过流、钥匙锁定等安全功能。
● 可选择水冷/气冷降温等方式。