无氧充氮烘箱

设备简介
无氧充氮烘箱通过氮气或者氩气等惰性气体替换烘箱内的空气，营造无氧环境，将氧气水平保持低至100PPM以内，以保护产品在高温条件下不被氧化。这使得该系列非常适合 MLCC 和 LTCC 脱脂，以及各类抗氧化热处理。无氧充氮烘箱采用专有的腔室结构和密封技术，具有出色的气密性和温度均匀性。可以选配冷却水循环的外部冷却机构，可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，从而缩短处理时间。适用于固化半导体晶圆（光刻胶PI, PBO固化），IC封装（铜基板，银胶，硅胶，环氧树脂），玻璃基板烘烤，高精度退火处理等。

设备特点
● 箱体采用全氩弧焊焊接保证了持续的箱体密封性
● 自动充氮系统
● 外部采用烤漆
● 配置不锈钢层架
● 耐高温硅橡胶门封条
● 多重保护装置（超温保护，马达保护，电器保护）

选配功能
● 加装HEPA高效过滤系统
● 氧气含量分析仪
● 水冷降温系统
● 定制治具
● 触摸屏集成控制
● 无纸记录仪
● 485通讯或以太网通讯
● 外部采用不锈钢材

设备参数